• 在MEMS测振中数字全息显微镜DHM对比激光测振仪有什么优势?
    数字全息显微镜DHM基于菲涅尔衍射的重建技术,仅需0.001秒采集一幅全息图即可测量得到样品3D形貌,并且是以亚纳米的精度。 激光测振仪基于多普勒原理,面外运动测量精度与DHM接近,面内振幅测量精度DHM则远超激光测振仪,达到了1nm。DHM独特的非扫描实时3D成像方式克服了传统CLSM、扫描探针显微镜等的缺点,广泛应用在MEMS研发和测量中。配合MEMS Analysis Tool实时分析工具可以实现: 测量任何MEMS特征  振幅面内精度1nm,面外精度5pm 0.001秒实时3D形貌  振幅与相位  位移,速度和加速度  任何方向:面内面外同时测  频率响应达25MHz  电响应 研究微小振动  边缘跟踪,傅里叶和子像素算法  平面内低至1nm分辨率 ...