在MEMS测振中数字全息显微镜DHM对比激光测振仪有什么优势?

raysci
2017-11-24 07:24


数字全息显微镜DHM基于菲涅尔衍射的重建技术,仅需0.001秒采集一幅全息图即可测量得到样品3D形貌,并且是以亚纳米的精度。
激光测振仪基于多普勒原理,面外运动测量精度与DHM接近,面内振幅测量精度DHM则远超激光测振仪,达到了1nm。DHM独特的非扫描实时3D成像方式克服了传统CLSM、扫描探针显微镜等的缺点,广泛应用在MEMS研发和测量中。配合MEMS Analysis Tool实时分析工具可以实现:

测量任何MEMS特征
 振幅面内精度1nm,面外精度5pm
0.001秒实时3D形貌
 振幅与相位
 位移,速度和加速度
 任何方向:面内面外同时测
 频率响应达25MHz
 电响应
研究微小振动
 边缘跟踪,傅里叶和子像素算法
 平面内低至1nm分辨率
 平面外低至5pm
复杂运动和几何图形的表征
仿真比较和测量
频域分析
伯德图分析
伯德相位和振幅的关系图 , Q 因子
傅里叶分析
从时域到频域的傅里叶变换,从频域到时域的傅里叶滤波
谐波分析
基本的,第二,第三和第四谐波振幅

应用案例
1、MEMS麦克风

2、惯性传感器 Inertial Sensors

3、MEMS微执行器MicroMotor

4、MEMS悬臂梁

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